1953 yılında 6206 sayılı Yasa ile “ Arazi Kadastrosu ve Fotogrametri Dairesi Müdürlüğü’’ olarak kurulmuştur.
1955 yılında 6587 sayılı Yasa ile” Arazi Kadastrosu ve Fotogrametri Dairesi Reisliği’ ismini,
1971 yılında 7/3434 sayılı Kararname ile “ Arazi Kadastrosu ve Fotogrametri Dairesi Başkanlığı’’ ismini, almıştır.
1976 yılında 5439 sayılı Yasa ile Daire’’ Tapulama Dairesi Başkanlığı’’ ve “Fotogrametri Dairesi Başkanlığı’’ olmak üzere iki ayrı daireye ayrılmıştır.
1984 yılında 3045 sayılı Yasa ile’’ Fotogrametri ve Geodezi Dairesi Başkanlığı’’ ismini almıştır.
2011 yılında 6083 sayılı Yasa ile Harita Dairesi Başkanlığı ismini almıştır.